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学内の方へ (ご利用方法が変わりました)

本学研究基盤総合センター・オープンファシリティ推進室HPの"学内の方"より、お入りください。利用登録申請、装置予約等が可能です。これまでは、オペトレ後の機器利用に際し、担当スタッフが装置予約をしていましたが、7月以降はご利用になられる皆様ご自身で機器の予約が可能になりました。
(注意) ただし、予約された時間帯は機器を占有することになりますので、課金は機器の実働時間ではなく、予約時間で計算させていただきます。ご了解ください。
                    

オープンファシリティ推進室のHPへ

概要

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筑波大学微細加工プラットフォームでは、全国の大学・研究機関とともに所有する先端的なナノテクノロジー研究設備の共用ネットワークを構築いたします。それによって画期的な材料開発に挑む産学官の利用者に対して、高度な技術支援とともに利用機会をご提供いたします。

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利用事例

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例えば以下のような受託テーマでのご利用事例がございます。

  • ・CNT成長基部構造の断面観察と組成分析評価、ならびにTEM用薄片の作製。
  • ・SETナノギャップ構造の断面観察評価
  • ・Siナノワイヤトランジスタの電気特性の最適化とそれを実現するデバイス構造のシミュレーションによる検証実験
  • ・Si系ショットキ障壁型トンネルトランジスタ(TFET)のシミュレーションによる検討

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装置について

deviceIndex

ナノデバイスの試作条件の策定に不可欠なデバイスシミュレーター、ナノデバイスの試作を具体化するレーザー描画装置、ナノ構造体試作を支援するFIB装置などがご利用いただけます。

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装置例:スパッタリング装置
SPUTTER

芝浦メカトロニクス社製CFS-4EP-LL
基板テーブル:Φ220 mm
ターゲット:Φ3インチGUN x 4基
(強磁性体材料用GUN1基含む)
使用ガス:Ar, O2, N2ガス

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お知らせ

2016.09.13
日立ハイテクによるSEM講習会(Oct. 13)を行います。
講習会(無料)13:30--15:20、第三エリア共同研究C棟3階大セミナー室
件名に「SEM講演会参加登録」と記載して、staff@u-tsukuba-nanotech.jpまで。
                            
実機操作講習(有料)15:30--17:00
件名に「SEM操作講習会応募」と記載して、staff@u-tsukuba-nanotech.jpまで。
人数制限:5名(試料持ち込み可)
参加費:学内(\2,250-)、学外(\11,880-)


2016.09.11
ダイシングマシン講習会(Oct. 12, 13:00--15:00)を行います。
パターン投影リソグラフィ講習会(Sept. 26, 10:00--12:00)を行います。

2016.08.20
バイオ&計測実践セミナーIII(Oct. 4, 12:55-17:10)を産総研で行います。
https://ssl.open-innovation.jp/npf/training/h28-2/profile/index.html

2016.07.21
ダイシングマシン講習会(August 3, 14:00--16:00)を行います。
パターン投影リソグラフィ装置講習会(August 9, 14:00--16:00)を行います。

2016.07.05
ダイシングマシン講習会(July 13, 14:00--16:00)を行いました。
パターン投影リソグラフィ装置講習会(July 14, 14:00--16:00)を行いました。

2016.06.10
パターン投影リソグラフィ装置講習会(June 23, 14:00--16:00)を行いました。

ダイシングマシン講習会(June 20, 13:30--15:30)を行いました。


2016.04.02
利用事例を追加しました。

2015.10.08
装置を追加しました。

2015.8.08
・バイオ&計測セミナーの受付を開始しました(先着100名, 講義9/8, 実習9/29他)
・FIBセミナーを実施する予定です(11月)

2015.4.03
・装置を追加しました。また、利用料金を改訂しました。

2015.3.24
・ウェハーダイシングマシン追加しました。
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