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NPはR3年度で終了し、R4年度からはARIMに引き継がれました。リンクはこちら

 

ご来校の際はマスクを着用し(持参してください)、当日の体温を申告していただきます。また、体調不良の場合には、利用しないでください。

筑波大学微細加工プラットフォームでは、全国の大学・研究機関とともに所有する先端的なナノテクノロジー研究設備の共用ネットワークを構築いたします。それによって画期的な材料開発に挑む産学官の利用者に対して、高度な技術支援とともに利用機会をご提供いたします。

学外の方へ

公開している全ての機器(15台)について、オペトレ後、ご利用可能です。"概要"をお読みになり、その後、"ご利用方法"へとお進みください。

学内の方へ

"こちらから"、お入りください。本学オープンファシリティー推進室HPの利用登録申請、装置予約等が可能です。


(注意)
1. 予約された時間帯は機器を占有することになりますので、課金は機器の実働時間ではなく、予約時間で計算させていただきます。ご了解ください。
2. 数理物質科学研究科(数理物質系)の方は、手続きの簡素化のため、複数の装置を使う場合でも、利用申請書を研究室で1件ご提出して頂ければ十分です。                     

オープンファシリティ推進室のHPへ

利用事例

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例えば以下のような受託テーマでのご利用事例があります。

  • ・CNT成長基部構造の断面観察と組成分析評価、ならびにTEM用薄片の作製。
  • ・SETナノギャップ構造の断面観察評価
  • ・Siナノワイヤトランジスタの電気特性の最適化とそれを実現するデバイス構造のシミュレーションによる検証実験
  • ・Si系ショットキ障壁型トンネルトランジスタ(TFET)のシミュレーションによる検討

利用事例へ

装置について

deviceIndex

ナノデバイスの試作条件の策定に不可欠なデバイスシミュレーター、ナノデバイスの試作を具体化するレーザー描画装置、ナノ構造体試作を支援するFIB装置などがご利用いただけます。

装置一覧へ

装置例:スパッタリング装置
SPUTTER

芝浦メカトロニクス社製CFS-4EP-LL
基板テーブル:Φ220 mm
ターゲット:Φ3インチGUN x 4基
(強磁性体材料用GUN1基含む)
使用ガス:Ar, O2, N2ガス

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お知らせ

≪装置停止情報 2/21現在≫
なし
≪2021年度 装置講習会に関して≫
新型コロナウイルス感染症の感染対策として、研究室にライセンス所持者のいない人のみが対象となります。
≪第12 回装置講習会~3月~≫
*ダイシングマシン講習会(3/9 13:30--15:30)を 共同研究棟C309室で行ないます。*パターン投影リソグラフィ装置講習会(3/17, 13:00--15:00)を共同研究棟C107室で行います。

staff@u-tsukuba-nanotech.jpまで(先着2名)
時間課金(参加人数分課金します)
機器利用講習会へ参加を希望される場合は、下記URLの「利用登録申請書」にご記入の上、担当スタッフまでお送りください。 http://www.u-tsukuba-nanotech.jp/source/index.html
~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~≪第11 回装置講習会~2月~≫
*ダイシングマシン講習会(中止) ダイシングマシン故障のため。
*パターン投影リソグラフィ装置講習会(2/24, 13:00--15:00)を共同研究棟C107室で行います。

staff@u-tsukuba-nanotech.jpまで(先着2名)
時間課金(参加人数分課金します)
機器利用講習会へ参加を希望される場合は、下記URLの「利用登録申請書」にご記入の上、担当スタッフまでお送りください。 http://www.u-tsukuba-nanotech.jp/source/index.html
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≪第10 回装置講習会~1月~≫
*ダイシングマシン講習会(中止) ダイシングマシン故障のため。
*パターン投影リソグラフィ装置講習会(1/27, 13:00--15:00)を共同研究棟C107室で行います。

staff@u-tsukuba-nanotech.jpまで(先着2名)
時間課金(参加人数分課金します)
機器利用講習会へ参加を希望される場合は、下記URLの「利用登録申請書」にご記入の上、担当スタッフまでお送りください。 http://www.u-tsukuba-nanotech.jp/source/index.html
~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~
≪第9 回装置講習会~12月~≫
*ダイシングマシン講習会(中止) ダイシングマシン故障のため。
*パターン投影リソグラフィ装置講習会(12/23, 13:00--15:00)を共同研究棟C107室で行います。

staff@u-tsukuba-nanotech.jpまで(先着2名)
時間課金(参加人数分課金します)
機器利用講習会へ参加を希望される場合は、下記URLの「利用登録申請書」にご記入の上、担当スタッフまでお送りください。 http://www.u-tsukuba-nanotech.jp/source/index.html
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≪第8 回装置講習会~11月~≫
*ダイシングマシン講習会(中止) ダイシングマシン故障のため。
*パターン投影リソグラフィ装置講習会(11/25, 13:00--15:00)を共同研究棟C107室で行います。

staff@u-tsukuba-nanotech.jpまで(先着2名)
時間課金(参加人数分課金します)
機器利用講習会へ参加を希望される場合は、下記URLの「利用登録申請書」にご記入の上、担当スタッフまでお送りください。 http://www.u-tsukuba-nanotech.jp/source/index.html
~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~
≪第7 回装置講習会~10月~≫
*ダイシングマシン講習会(中止) ダイシングマシン故障のため。
*パターン投影リソグラフィ装置講習会(10/21, 13:00--15:00)を共同研究棟C107室で行います。

staff@u-tsukuba-nanotech.jpまで(先着2名)
時間課金(参加人数分課金します)
機器利用講習会へ参加を希望される場合は、下記URLの「利用登録申請書」にご記入の上、担当スタッフまでお送りください。 http://www.u-tsukuba-nanotech.jp/source/index.html
~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~
≪第6 回装置講習会~9月~≫
*ダイシングマシン講習会(中止) ダイシングマシン故障のため。
*パターン投影リソグラフィ装置講習会(9/14, 13:00--15:00)を共同研究棟C107室で行います。

staff@u-tsukuba-nanotech.jpまで(先着2名)
時間課金(参加人数分課金します)
機器利用講習会へ参加を希望される場合は、下記URLの「利用登録申請書」にご記入の上、担当スタッフまでお送りください。 http://www.u-tsukuba-nanotech.jp/source/index.html
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≪第5 回装置講習会~8月~≫
*ダイシングマシン講習会(8/,26 13:30--15:30)を共同研究棟C309室で行います。
*パターン投影リソグラフィ装置講習会(8/26, 13:00--15:00)を共同研究棟C107室で行います。

staff@u-tsukuba-nanotech.jpまで(先着2名)
時間課金(参加人数分課金します)
機器利用講習会へ参加を希望される場合は、下記URLの「利用登録申請書」にご記入の上、担当スタッフまでお送りください。 http://www.u-tsukuba-nanotech.jp/source/index.html
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≪第4 回装置講習会~7月~≫
*ダイシングマシン講習会(7/,21 13:30--15:30)を共同研究棟C309室で行います。
*パターン投影リソグラフィ装置講習会(7/29, 13:00--15:00)を共同研究棟C107室で行います。

staff@u-tsukuba-nanotech.jpまで(先着2名)
時間課金(参加人数分課金します)
機器利用講習会へ参加を希望される場合は、下記URLの「利用登録申請書」にご記入の上、担当スタッフまでお送りください。 http://www.u-tsukuba-nanotech.jp/source/index.html
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≪第3 回装置講習会~6月~≫
*ダイシングマシン講習会(6/,17 13:30--15:30)を共同研究棟C309室で行います。
*パターン投影リソグラフィ装置講習会(6/24, 13:00--15:00)を共同研究棟C107室で行います。

staff@u-tsukuba-nanotech.jpまで(先着2名)
時間課金(参加人数分課金します)
機器利用講習会へ参加を希望される場合は、下記URLの「利用登録申請書」にご記入の上、担当スタッフまでお送りください。 http://www.u-tsukuba-nanotech.jp/source/index.html
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≪第2 回装置講習会~5月~≫
*ダイシングマシン講習会(5/20, 13:30--15:30)を共同研究棟C309室で行います。
*パターン投影リソグラフィ装置講習会(5/20, 13:00--15:00)を共同研究棟C107室で行います。

staff@u-tsukuba-nanotech.jpまで(先着2名)
時間課金(参加人数分課金します)
機器利用講習会へ参加を希望される場合は、下記URLの「利用登録申請書」にご記入の上、担当スタッフまでお送りください。 http://www.u-tsukuba-nanotech.jp/source/index.html
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≪第1回装置講習会~4月~≫
*ダイシングマシン講習会(4/22, 13:30--15:30)を共同研究棟C309室で行います。
*パターン投影リソグラフィ装置講習会(4/22, 13:00--15:00)を共同研究棟C107室で行います。

staff@u-tsukuba-nanotech.jpまで(先着2名)
時間課金(参加人数分課金します)
機器利用講習会へ参加を希望される場合は、下記URLの「利用登録申請書」にご記入の上、担当スタッフまでお送りください。 http://www.u-tsukuba-nanotech.jp/source/index.html
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