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概要

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筑波大学微細加工プラットフォームでは、全国の大学・研究機関とともに所有する先端的なナノテクノロジー研究設備の共用ネットワークを構築いたします。それによって画期的な材料開発に挑む産学官の利用者に対して、高度な技術支援とともに利用機会をご提供いたします。

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利用事例

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例えば以下のような受託テーマでのご利用事例がございます。

  • ・CNT成長基部構造の断面観察と組成分析評価、ならびにTEM用薄片の作製。
  • ・SETナノギャップ構造の断面観察評価
  • ・Siナノワイヤトランジスタの電気特性の最適化とそれを実現するデバイス構造のシミュレーションによる検証実験
  • ・Si系ショットキ障壁型トンネルトランジスタ(TFET)のシミュレーションによる検討

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装置について

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ナノデバイスの試作条件の策定に不可欠なデバイスシミュレーター、ナノデバイスの試作を具体化するレーザー描画装置、ナノ構造体試作を支援するFIB装置などがご利用いただけます。

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装置例:スパッタリング装置
SPUTTER

芝浦メカトロニクス社製CFS-4EP-LL
基板テーブル:Φ220 mm
ターゲット:Φ3インチGUN x 4基
(強磁性体材料用GUN1基含む)
使用ガス:Ar, O2, N2ガス

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お知らせ

2016.06.10
パターン投影リソグラフィ装置講習会(June 23, 14:00--16:00)を行います。

ダイシングマシン講習会(June 20, 13:30--15:30)を行います。


2016.04.02
利用事例を追加しました。

2015.10.08
装置を追加しました。

2015.8.08
・バイオ&計測セミナーの受付を開始しました(先着100名, 講義9/8, 実習9/29他)
・FIBセミナーを実施する予定です(11月)

2015.4.03
・装置を追加しました。また、利用料金を改訂しました。

2015.3.24
・ウェハーダイシングマシン追加しました。
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