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ご利用の手順

技術相談・依頼を受けた後の対応体制は、以下のような流れとなっております。

howto  

ご利用形態について

技術代行

支援者が利用者に代行して設備操作する技術支援です。

共同研究

契約に基づき,登録設備を用いて利用者と支援者が共同で実施する成果公開型共同研究です。

技術相談

利用者相談に専門家として応える計測技術コンサルタントとしての支援です。

注意事項

利用課題申請書

ご利用にあたっては、細則に基づく利用課題申請書の提出が必要となります。

  • 細則・利用課題申請書のダウンロードはこちら

装置一覧

筑波大学微細加工プラットフォームでは、デバイスシミュレーター、スパッタリング装置、レーザー描画装置、FIB-SEM、パッケージング、電子線蒸着装置、電子線描画装置、走査型プローブ顕微鏡(SPM)がご利用いただけます。

利用料金

装置の利用料金は装置それぞれ異なった課金方式が設定されています。

お問い合わせ

その他ご利用にあたってのご質問やお問い合わせは、以下のリンクからご覧下さい。