top

装置の利用料金(30分間単位, 2017年4月より適用)

装置名
料金(学外)
料金(学内)
デバイスシミュレーター 680円(技術代行・技術補助込 4,370円) 330円
スパッタリング装置 940円(技術代行・技術補助込 4,250円) 550円
レーザー描画装置 1,240円(技術代行・技術補助込 4,550円) 500円
FIB-SEM 5,680円(技術代行・技術補助込 12,300円) 1,500円
電子線蒸着装置 960円(技術代行・技術補助込 4,660円) 540円
電子線描画装置 2,680円(技術代行・技術補助込 6,370円) 1,500円
走査型プローブ顕微鏡 1,520円(技術代行・技術補助込 5,210円) 750円
ウェハーダイシングマシン 600円(技術代行・技術補助込 4,300円) 300円
電界放出型走査電子顕微鏡 1,380円(技術代行・技術補助込 5,080円) 750円
パターン投影リソグラフィシステム 480円(技術代行・技術補助込 3,800円) 250円
インクジェットパターン形成装置 1,420円(技術代行・技術補助込 5,430円) 750円
反応性イオンエッチング 840円(技術代行・技術補助込 4,540円) 540円
マスクアライナー 200円(技術代行・技術補助込 3,510円) 150円
触針式表面形状測定器 160円(技術代行・技術補助込 3,850円) 100円
半導体特性評価システム 190円/時間(技術代行・技術補助込 5,510円) 80円