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電子線描画装置

装置名
電子線描画装置
EB-350T
型番名 ELS-7500EX
メーカー名 ELIONIX
使用目的 電子ビームでレジスト上に微細なパターンを直接描画するための装置です。
蒸着やエッチング等のプロセスと組み合わせることによって、微細な金属電極パターン作製や溝パターン加工を行うことができます。
描画例へのリンク 電子線描画装置の詳細ページへ

装置仕様

       
電子銃エミッターZrO/W熱電界放射
加速電圧5~50 kV
最小線幅10 nm
試料サイズ最大4インチウェハ
ステージ移動範囲X:100 mm以上, Y:110 mm以上
重ね合わせ精度40 nm
フィールド繋ぎ精度40 nm