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電子線蒸着装置

装置名
電子線蒸着装置
EB-350T
型番名 EB-350T
メーカー名 株式会社エイコー
使用目的 電子線蒸着装置は高真空中で、固体を電子ビームにより加熱蒸発させ、この蒸気を一定の温度に保持した基板上に堆積させて薄膜を形成する装置です。
本装置は、蒸着室、ロードロック室の2室で構成されています。
蒸発面に対して基板が±90°回転しますので、傾斜蒸着が可能です。
参考データへのリンク 電子線蒸着装置の詳細ページへ

装置仕様

到達圧力 1.0×10-6 Pa以下
蒸発源 5 kW 5連EBガン
ルツボ容量 5 cc
基板ホルダー Φ3インチ