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半導体特性評価システム

装置名
半導体特性評価システム
SPUTTER
型番名 B1599T
メーカー名 Agilent
使用目的 半導体デバイスアナライザーと4探針マニュアルプローバーによりI-V測定、C-V測定、高速パルスI-V測定等が可能。

装置仕様

I-V測定範囲 0.1fA~1A / 0.5µV~200V
タイムサンプリング 100µs
パルス最小測定幅 100µs (MCSMU)
容量測定周波数 1kHz~5MHz
パルス測定 波形生成分解能 10 ns
測定分解能 5ns