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走査型プローブ顕微鏡(SPM)

装置名
SPM装置
EB-350T
型番名 Dimension ICON およびMultiMode 8
メーカー名 ブルカー・エイエックスエス株式会社
使用目的 試料表面のナノスケールでの形状を観察できます。
また、表面の粘弾性などの機械的特性の評価もできます。
アプリケーションモジュールを用いることで表面形状と同時に、電流分布、抵抗分布などの電気的特性の評価もできます。
参考データへのリンク Dimension ICONの詳細ページへ
MultiMode 8の詳細ページへ

装置仕様

Dimension ICONMultimode 8
変位検出方式光コテ方式光コテ方式
試料サイズΦ210 mm (8インチウェハ)Φ15 mm
XYスキャン領域90 μm (クローズドループ)10 μm (オープンループ)
Zスキャン領域10 μm (クローズドループ)2.5 μm (オープンループ)
観察モード コンタクトモード
タッピングモード
位相イメージ
磁気力
電気力
表面電位
CAFM
TUNA
SCM
SSRM
STM
コンタクトモード
タッピングモード
位相イメージ
磁気力
電気力
表面電位
CAFM
TUNA
SCM
SSRM