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触針式表面形状測定器

装置名
触針式表面形状測定器
SPUTTER
型番名 Dektak3 ST
メーカー名 アルバック
使用目的 ダイヤモンド・スタイラスを操作して、段差を計測(接触型段差測定器)できる。

装置仕様

測定段差幅 10~131nm
測定分解能 0.1nm/6.5µm, 1nm/65.5µm, 2nm/131µm
測定長 50µm~50mm
観察倍率 35倍、200倍
サンプルサイズ 150mm