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マスクアライナー

装置名
マスクアライナー
SPUTTER
型番名 Q2001CT
メーカー名 Neutronix-Quintel
使用目的 回路パターンを2.5インチマスクからレジストへコンタクト方式で転写する装置。線幅数 µm以上のレジストパターンを作成可能。        

装置仕様

マスク-ウエハー間隔 0~180µm
基板サイズ 1cm角~4インチ(直径)
マスクサイズ 2.5インチ角、5インチ角
光源 200W水銀ランプ(350~450nm)
解像度 0.6~1.0µm
マニュアルアライメント 1.0µm
照射分布 <5%@3.5インチ(直径)