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FIB-SEM

装置名
FIB-SEM
SPUTTER
型番名 Helios NanoLab 600i
メーカー名 FEI(日本エフイー・アイ株式会社)
使用目的 SEM観察を行いながらFIB(集束イオンビーム)によるナノ構造の微細加工を実施することが出来る。TEM試料作製、3次元構造解析、元素分析も可能。
参考データへのリンク 装置の詳細ページ

装置仕様

        
電加速電圧  1-30 kV (電子ビーム) 0.5-30 kV (イオンビーム)
デポジション用ガス C, Ptガス