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電界放出型走査電子顕微鏡

装置名
電界放出型走査電子顕微鏡
SPUTTER
型番名 Su8020
メーカー名 日立ハイテクノロジーズ
使用目的 電界放出型電子銃とインレンズ検出器により超低電圧でnmオーダーの高解像度を実現する走査型電子顕微鏡。ナノ構造・材料の観察、測長も可能。
参考データへのリンク 装置の詳細ページ

装置仕様

二次電子分解能 1.0nm (加速電圧15kV,WD=4mm)
1.3nm (照射電圧1kV,WD=1.5mm) 
照射電圧 0.1~30kV
低倍率モード 20~2,000倍 (写真倍率)
高倍率モード 100~800,000倍 (写真倍率)