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ウェハーダイシングマシン

装置名
ウェハーダイシングマシン
EB-350T
型番名 DAD322
メーカー名 株式会社ディスコ
使用目的 ウエハから希望サイズのチップに切り出す装置。
Si、GaAs、GaN、SiC、サファイヤ、石英ガラス、プリント基板の切削が可能。
参考データへのリンク DAD322の詳細ページへ

装置仕様

最大基板サイズ Φ6インチ
切削可能範囲 150mm
切削速度 0.1~100mm/s
ダイシング深さ精度 0.005mm
位置決め精度 0.005mm
ダイシングライン太さ 0.005mm