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微細加工プラットフォームとは

微細加工プラットフォーム

微細加工プラットフォームは、文部科学省が進める「ナノテクノロジープラットフォーム事業」に基づいて設立した組織です。ナノテクノロジープラットフォーム事業は、全国各地のナノテクノロジー研究設備を活用し、研究基盤を強化することを目的としています。

ナノテクノロジープラットフォームでは、3つの技術領域(①微細構造解析②微細加工③分子・物質合成)において、プラットフォームの基盤を形成します。事業の詳細につきましては(独)物質・材料研究機構 ナノテクジャパンをご覧下さい。

その中でも筑波大学微細加工プラットフォームでは、微細加工領域のプラットフォームとして、画期的な材料開発に挑む産学官の利用者に対して、高度な技術支援とともに利用機会を提供します。

筑波大学微細加工プラットフォームでは15つの装置の利用が出来ます。デバイスシミュレーター、スパッタリング装置、レーザー描画装置、FIB-SEM、パッケージング、電子線蒸着装置、電子線描画装置、走査型プローブ顕微鏡(SPM)等がご利用いただけます。

装置例1:デバイスシミュレーター

デバイスシミュレーションは,効率的な研究・開発を推進する上で不可欠です。デバイスシミュレーターはナノデバイスの試作条件の策定に不可欠なツールですが、その運用には過去のシミュレーションの結果と試作結果の照らし合わせで精度を上げる必要があります。筑波大学にはその両方の蓄積があり、精度の高い支援を行う事ができます。

装置例2:レーザー描画

ナノデバイスの試作を具体化する最初の工程はマスク製作です。当機関はレーザー描画で製作を支援します。描画されたマスクはプラットフォームの他機関への供給も可能であり、マスク製作のコストを大幅にダウンできます。

装置例3:FIB装置

一方,少数のナノ構造体試作支援において,FIB装置はきわめて有効です。北関東地域の民間中小企業を支援するとともに,つくば地区の他機関と連携しながら,効率的な運用を行っていきます。

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